星期一, 16 9 月, 2024
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ASML將被禁維修中國DUV 中芯7奈米製程恐折翼

彭博披露,荷蘭政府計畫限制艾司摩爾(ASML)為其在中國的半導體設備提供維修服務,此舉恐對北京發展世界級晶片產業的努力造成沉重打擊,因為中國半導體龍頭中芯國際可能明年將無法為華為生產7奈米與5奈米製程晶片。

知情人士透露,荷蘭政府可能不會延長艾司摩爾提供中國設備零組件與服務的一些許可,相關許可訂於今年底到期。此決定預料涵蓋艾司摩爾的高端深紫外光機(DUV),致使一些設備到明年就無法使用。

該決定是在美國壓力下做成,美國敦促盟邦採取與其一致的出口管制政策,以遏阻中國半導體的進展。美國已表示,如果荷蘭等盟邦不配合,華府可能實施外國直接產品規則(FDPR)等單邊措施;該規則允許美國管制含有微量美國技術的外國產品出口。

荷蘭政府先前對艾司摩爾Twinscan NXT:2000i、2050i與 2100i型DUV實施中國出口管制措施,這些設備可以被用來生產7奈米,甚至5奈米製程晶片,美國政府及其盟邦基於國安疑慮,不希望中國擁有生產高階晶片的能力。

相關設備有些已裝置於中芯國際的晶圓廠中,據悉中芯使用Twinscan NXT:2000i以及更先進的設備,為華為生產第2代7奈米製程晶片。早被美國列入貿易黑名單的華為去年推出搭載7奈米應用處理器的5G手機,令舉世震撼。

然而這些設備必須維修,如果沒有維護並更換新元件,可能到2025年便無法運作,如此將嚴重干擾中芯與華為的先進半導體生產能力,因為中國目前尚未能複製艾司摩爾的曝光系統,華為與中芯只能依賴艾司摩爾的設備生產先進晶片。自由時報0829

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